UID197146
威望-71
金钱462452
交易诚信度0
主题187
帖子14801
注册时间2005-10-24
最后登录2025-8-30
荣誉会员
       
交易诚信度0
注册时间2005-10-24
|
镜头看似小众但实际上是EUV光刻机制造过程中不可逾越的技术难关。类似哈勃望远镜或者接班人韦伯望远镜,也都离不开顶级镜头制造技术。军事用途更不用说了。以下内容ZT
---------------------------------------------------------------------------------
事实证明,这种看法过于乐观。这项技术非常复杂。它包括用高功率激光以每秒5万次的速度轰击锡滴,产生能发射极紫外光的等离子体。这样的光在地球上不会自然产生,事实上它会被空气吸收,这个过程必须在真空中进行。然后,光线被一系列镜子聚焦,反射到一个准星上。掩膜上的图案,可以阻挡和吸收一些光线,这样就形成了要蚀刻到芯片上的电路图案。
由于这些东西的运行规模,由德国蔡司公司制造的镜子必须要光滑得近乎不可思议:最大的瑕疵只有一个原子那么高。ASML表示,如果镜子按比例放大到一个国家的大小,那么最高的凸起将只有1毫米高。用激光轰击熔化的锡很麻烦。它需要定期清理,这意味着有很多停机时间。这使得人们很难想象这种机器是如何做到经济实惠的:半导体制造设备几乎需要每周7天、每天24小时不停地运转,才能证明数十亿美元的建造成本是合理的。
|
|